材料的純度用來顯示內含的雜質總量, 通常以幾個 9(N) 來表示. 一般僅計算金屬雜質, 氣體元素 N/O/H 及非金屬元素 C/S 不計算在內.

6N (99.9999 %) - 金屬雜質總量 < 1ppm

5N (99.999 %) - 金屬雜質總量 < 10ppm

4N5 (99.995 %) - 金屬雜質總量 < 50ppm

4N (99.99 %) - 金屬雜質總量 < 100ppm

3N5 (99.95 %) - 金屬雜質總量 < 500ppm

3N (99.9 %) - 金屬雜質總量 < 1000ppm

對特定某些元素, 會把化學性質非常接近的其他元素不視為雜質, 例如 Zr 中的 Hf,  Ta 中的 Nb, …

對稀土元素 (Rare Earth, La系元素), 一般以該元素佔稀土元素的比例表示, 例如 Yb/TREM > 99.99 %