• 清淨度

    通常鍍膜客戶僅知道靶材的純度很重要, 往往忽略材質問題通常也來自材料的清淨度. PVD 靶材在真空腔體中為陰極, 帶負電,…

  • 形狀 (Shapes)

    板 (Plate), 片 (Sheet), 薄片…

  • 結晶相

    材料的結晶相 (或結構相) 指原子在空間中的排列方式, 每一種排列方式就是一個相 (Phase).…

  • 密度

    材料的密度用來表示材料是否緻密? 或材料中是否有孔洞? 通常以材料理論密度的百分比來表示, 比如 90%…

  • 晶粒大小

    金屬靶材的鍍膜均勻性 (Uniformity) 和晶粒大小相關, 晶粒越小, 膜層均勻性越好.…

  • 純度 (Purity)

    材料的純度用來顯示內含的雜質總量, 通常以幾個 9(N) 來表示. 一般僅計算金屬雜質,…

  • 成份

    材料的成份通常以重量百分比 (wt%) 來表示, 比如 Ni/Cr…