輝光放電質譜儀
(Glow Discharge Mass Spectrometers, GDMS) 
Nu Instruments Astrum ES

掃描式電子顯微鏡 (SEM/EDX)
JEOL JSM-6510+Oxford X-Act IE250

X光繞射儀 (X-Ray Diffraction, XRD)
PANalytical X’Pert PRO

感應耦合電漿 原子放射光譜儀
(Inductive Coupled Plasma, ICP-OES) Agilent 5100

微波消化器 CEM MARS 6

波長分散式 螢光分析儀 (WD-XRF) 
Rigaku Supermini 200

電弧激發 原子放射光譜儀 (Spark-AES)
Bruker Q4 Tasman 130

碳硫分析儀 (Carbon/Sulfur Analyzer)
Horiba EMIA-Pro

氧氮分析儀 (Oxygen/Nitrogen Analyzer)
Horiba EMGA-820

雷射粒徑分析儀
Laser Particle Size Analyzer BT-2003

金相顯微鏡 Olympus BH

數位式光學顯微鏡 Keyence VHX-6000

三次元量測儀 Keyence XM-1200

龍門型三次元量測儀
坤博QPM, 1000x600x600mm

影像尺寸量測儀 Keyence IM-7030

霍爾效應測試儀
(Hall Effect Measurement System)
智果 VDP6800C

四點探針 
Keithley 2401 Source Meter + 2182A Nanovolt Meter

溫控熱載盤 (Hot Chuck) RT~200C

色差儀 X-Rite i5

熱重-熱差分析儀 (TG-DTA)
Mettler-Toledo STARe Excellence TGA/DSC 3+ HT

紫外-可見光譜儀(UV-VIS)
Thermo Fisher Evolution 220 + ISA-220積分球

氦氣測漏儀 Pfeiffer ASM340

金相研磨拋光機

洛式硬度計 Rockwell Hardness Tester