指在常溫下保有強鐵磁性的材料, 通常分為軟磁和硬磁二種. 磁性材料做為靶材時, 厚度不宜超過3mm, 否則電漿無法點燃

軟磁:  外加磁場去除後, 材料即失去磁性

(Mn,Zn)Fe2O4,  (Ni,Zn)Fe2O4,  (Mn,Mg)Fe2O4,  Y3Fe5O12,  Amorphous Alloy

硬磁:  一旦磁化後, 即永久保有強磁性

FeAlNi,  AlNiCo,  CuNiCo,  FeCrCo,  Fe2O3,  SmCo,  NdFeB

Fe3O4
Fe3O4
Fe2O3
Fe2O3
Co/Fe
Co/Fe
Ni/Fe
Ni/Fe