指在常溫下保有強鐵磁性的材料, 通常分為軟磁和硬磁二種. 磁性材料做為靶材時, 厚度不宜超過3mm, 否則電漿無法點燃
軟磁: 外加磁場去除後, 材料即失去磁性
(Mn,Zn)Fe2O4, (Ni,Zn)Fe2O4, (Mn,Mg)Fe2O4, Y3Fe5O12, Amorphous Alloy
硬磁: 一旦磁化後, 即永久保有強磁性
FeAlNi, AlNiCo, CuNiCo, FeCrCo, Fe2O3, SmCo, NdFeB